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序号 |
设备名称 |
型号 |
产地 |
备注 |
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1 |
中束流离子注入机 |
300 XP |
美国 |
204室 |
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2 |
贴片机 |
Quad IV c |
美国 |
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3 |
高温扩散炉 |
CDS 150 |
美国 |
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4 |
反应离子刻蚀和等离子增强
化学汽相淀积系统 |
SLR 730PM&720SM |
美国 |
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5 |
湿法刻蚀机 |
48-66-VLF-28 |
美国 |
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6 |
电子束焊机 |
MEDARD 43 EB |
法国 |
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7 |
双面光刻机 |
MA6/BA6 |
德国 |
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8 |
激光微调机 |
Model 4990S |
美国 |
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9 |
脉冲氩弧焊机 |
Model PA-10/100-STD |
美国 |
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10 |
硅片清洗甩干机 |
72-66-VLF-28 |
美国 |
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11 |
真空蒸发台 |
SJ/20C |
美国 |
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12 |
键合机(超声压焊机) |
Model 4523 |
美国 |
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13 |
表面轮廓仪 |
ALPHA-STEP 500 |
美国 |
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14 |
椭圆偏振仪 |
Auto EL-NIR-3 |
美国 |
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15 |
磁控溅射台 |
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美国 |
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16 |
再流焊 |
Quad VMP 20B |
美国 |
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17 |
半自动印刷机 |
Quad 412B |
美国 |
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18 |
精密磨抛机 |
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中国 |
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19 |
超低温调温箱 |
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中国 |
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20 |
氩弧焊机 |
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中国 |
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21 |
氦质谱检漏仪 |
|
中国 |
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22 |
自动加压测试系统 |
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自制 |
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23 |
化学腐蚀设备 |
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自制 |
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24 |
芯片测试仪 |
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自制 |
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25 |
工作站 |
C 180 |
美国 |
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26 |
机械CAD软件 |
CA CADD 5 |
美国 |
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27 |
有限元分析软件 |
ANSYS5.4 |
美国 |
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28 |
高低温加湿试验箱 |
Model 540H70/3 |
法国 |
测试中心 |
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29 |
温度冲击试验箱 |
Model 120CT/4 |
法国 |
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30 |
超加速应力试验箱 |
Model TPC-412M |
日本 |
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31 |
标准压力发生器 |
Model 5403G,1600, 1500 |
法国 |
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32 |
绝压数字校验仪 |
Model 320 |
美国 |
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33 |
多通道数据采集器 |
Logger-DT600 |
美国 |
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34 |
数字存储示波器 |
TDS 430 |
美国 |
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35 |
精密压力校控仪 |
Model 325 |
美国 |
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36 |
表压数字校验仪 |
Model 702 |
美国 |
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37 |
数字电压表 |
Model 34401A |
美国 |
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38 |
信号发生器 |
Model 3910 |
美国 |
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39 |
信号发生器 |
Model 263 |
美国 |
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40 |
带有多路开关的恒流、恒压源 |
Model 7011 etc |
美国. |
203室 |
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41 |
高精度光学镀膜机 |
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美国 |
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