力敏元件很重要的一部分制造工艺是采用硅平面工艺实现的。力敏元件的芯片就是采用平面工艺制造的。比如制作压阻式压力传感器的惠斯登电桥、硅电容压力传感器电容极板。我室平面工艺的主要采用：氧化、扩散、光刻、淀积、电极制备、磷钝化等工艺完成芯片的制备。