ZSH系列自动砂轮划片机是一种智能型高精度的半导体芯片切割专用设备，由于在国内率先采用微机控制，提高了设备运行的可靠性和操作的灵活性，自八十年代初期投放市场以来，深得用户满意，已占据国内同类产品的绝大部分市场。二十年来，我们一直在不断更新技术，调整产品方向，开发出多种不同规格型号的产品，可实现正方形、长方形、正六边形、变分度、变深度、开斜槽等多种切割方式。切割芯片大小可从2英寸到8英寸，广泛应用在晶体管、NTC电阻、太阳能电池、霍尔器件、B超换能头等生产厂家。可用于对硅片、石英、玻璃、陶瓷、氧化铝、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓、磁钢等硬脆材料的切割。另外可以根据用户的要求专门设计特殊制作。

ZSH518主要技术参数：
X轴		Y轴
驱动方式	伺服电机	驱动方式	步进电机
行程	370mm	行程	210mm
切割速度	0.1～400mm/s	分辨率	0.0002 mm
开槽宽度	刀厚+10μ	单步步进精度	0.003 mm
开槽深度	0～5 mm	累积步进精度	0.005/210 mm
		步进设定范围	0.001～204 mm
Z轴		θ轴
驱动方式	步进电机	驱动方式	伺服电机
行程	30 mm	转角范围	0～360°
分辨率	0.001 mm	最小转角	3.6″
开槽深度	0～5 mm	转角精度	≤1′/90°
工件尺寸	2"～ 8"	冷却水	0.3MPa 2.5L/min
主轴转速	3000～ 40000rmp	定位系统	分离视场显微镜+CCD
主轴功率	500W ～1000W	排水口	30 mm
压缩空气	0.5MPa 300L/min	吸雾口	60 mm
外形尺寸(长× 宽× 高)		950×1000×1670