半导体精密光学器件

1、紫外曝光、光刻

汇博光学提供IC半导体光刻机、FPD液晶面板曝光设备、PCB线路板曝光机系统使用的精密光学薄膜产品。包括各种大功率深椭球分光镜、45°平面反射镜、介质膜反射镜、铝增强型反射镜、复眼透镜、365nm带通滤光片、光配向反射镜、异形反射镜等。精密光学薄膜器件采用精密模压及数控加工，镀制多层硬质氧化物薄膜，具有光斑均匀性好、反射效率高、寿命长等特点。主要应用包括IC半导体、PCB、LED、MEMS、TFT、LCD、紫外固化、紫外点光源等产业方向。

2、紫外系列光学薄膜反射镜

　　应用方向：紫外曝光、工业固化、测与量测、照明光学、紫外激光
　　产品特点：反光镜为光学玻璃或金属，主要光谱反射波段140-450nm。采用等离子体反应溅射工艺，具有出色的耐温性能。可镀制各种分波段反射、全反射、增强反射光学薄膜。
　　根据客户需求中心波长、反射带宽等参数均可定制。

3、紫外系列光学薄膜滤光片

　　应用方向：紫外光刻、固化设备、检测与量测
　　产品特点：i线及汞灯特征光谱窄带滤光片、长波截止滤光片、短波截止滤光片、190nm、254nm高透滤光片、308nm准分子激光窗口、石英窗口
　　根据客户需求中心波长、透射带宽等参数均可定制。

4、其他定制产品

为您提供光学系统设计解决方案
       汇博光学接受定制各种规格尺寸，金属基底及光学基底的全光谱光学薄膜产品。

联系方式：汇博光学公司市场营销部，024-88722463

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